MDP高速晶圆片在线面检测仪--少子寿命检测Freiberg--MDPinline

2025-11-22

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MDPinline(MDP高速晶圆片在线面检测仪--少子寿命检测)是一种用于快速定量测量载流子寿命并集成扫描功能的检测仪。通过工厂安装的传送带将晶圆片移至仪器,在不到一秒的时间内,就可以“动态"测量出晶圆图。该仪器可为每个晶圆片提供完整的拓扑结构,有效提高了生产线的成本效益和效率。且其实时质量检测可以提高和优化诸如扩散和钝化等处理步骤。
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