动态二次离子质谱仪D-SIMS|束蕴仪器PHI ADEPT010

2025-11-19

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ADEPT-1010 专为浅层半导体注入和绝缘薄膜的自动分析而设计,是大 多数半导体开发和支持实验室的常用工具。通过优化的二次离子收集光学系统 和超高真空设计,提供了薄膜结构检测中的掺杂组分和常见杂质所需的灵敏度。
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